技术编号：9234418
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。例如，专利文献I公开有如下光扫描仪，其具备具有反射面的镜部；以能够摆动的方式支承镜部的扭杆；以及支承扭杆的支承部。另外，专利文献I的光扫描仪具有设置于镜部与支承部之间的间隙的冲击缓和部，利用该冲击缓和部，避免镜部与支承部碰撞而破损。另外，上述各部通过使用蚀刻技术来对硅基板进行图案刻画而一体形成。然而，在专利文献I的光扫描仪中，在镜部周围的空间存在差别。即，相对于镜部与支承部之间的空间，镜部与冲击缓和部之间的空间较小，而且，冲击缓和部的形状相对于其他部分也非...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。