技术编号:9234561
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利说明感光性树脂组合物、感光性薄膜、肋图案的形成方法、中空 构造及其形成方法从及电子零件 本申请是申请日为2011年5月19日、中国申请号为201180025022. 8的专利申请 的分案申请。 本发明设及耐湿热性优良、高温下具有高的弹性模量的能够形成厚膜的感光性树 脂组合物W及使用了该组合物的感光性薄膜、肋图案的形成方法、中空构造及其形成方法 W及电子零件。背景技术 近年来,由于半导体元件的高集成化、小型化的发展,实现了迅速的大容量化、低 成本化。W表...
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