技术编号：9234567
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 浸没式光刻机的工作原理是通过在干式光刻系统中投影物镜的最后一片光学镜 片与娃片之间的空隙中填充折射率大于1的浸液，提高该层空间中的光波折射率，原本受 空气全反射限制的光线可入射到液体中，达到增大焦深、提高分辨率的目的，从而获得更加 细小的线条。 浸没式光刻机的结构如图1所示，在该装置中，照明系统2、投影物镜4和娃片台8 依次固定于主框架1上，娃片台8上放置有一涂有感光光刻胶的娃片7。该浸没式光刻机结 构，将浸液5 (如水）填充在投影物镜4和娃片7之间的缝...
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