技术编号：9236813
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体功率器件，特别是涉及。背景技术近10多年来，超结功率器件的电荷平衡理论在半导体行业的应用，为高压功率器件的市场建立了新的标杆。超结功率器件基于电荷平衡技术，可以降低导通电阻和寄生电容，使得超结功率器件具有极快的开关特性，可以降低开关损耗，实现更高的功率转换效率。公知的超结功率器件的剖面结构示意图如图1a所示，包括第一掺杂类型的漏区100及位于漏区100之上的第一掺杂类型的衬底外延层101 ;凹陷在衬底外延层101内设有用于和衬底外延层101...
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