技术编号:9237108
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。太赫兹波导耦合器在太赫兹系统中应用非常广泛,其既可以用作雷达成像、材料分析、环境监测,又可以用作大容量通讯等。作为太赫兹系统不可或缺的核心器件之一,太赫兹波导耦合器的性能直接关系到太赫兹系统的指标。在现有技术条件下,太赫兹波导耦合器的制备主要采用以下两种技术来实现第一种制备技术是传统机械加工技术(包括铣、磨、抛等)。此种制备技术存在的问题是制备过程复杂、制备成本高、制备出的太赫兹波导耦合器精度低、表面粗糙度大。第二种制备技术是普通MEMS牺牲层技术。此种制...
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