技术编号：9237761
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器领域，特别涉及一种微振动传感器。背景技术微振动传感器广泛适用于电子，机械，生物等各个领域，通常是利用微小机械部件受力后产生的微小形变输出不同大小的电信号，通过分析电信号变化获取相应的信息。一般地，微振动传感器通过外电源或电磁、压电等方式实现供电，但这需要独立的供电装置，使得结构十分复杂。摩擦发电机由于其自供电的优势，无需外部供电,不同结构和材料的摩擦发电机相继用于微振动传感器中。摩擦发电机一般由依次层叠的电极层，高分子聚合物绝缘层组成。受到...
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