一种带位移传感功能步距可变的闭环微位移步进驱动装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9237765

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随着现代科学技术的不断发展,人类对微观领域的研究越来越深。尤其在超精密加工,微机电系统(MEMS),微小机器人等领域,对精密定位,微小位移的要求越来越高,传统的驱动装置,如普通电机,丝杠螺母,蜗轮蜗杆等宏观大尺寸驱动装置已经不能满足其精度要求,相比于传统驱动装置,压电,磁致伸缩等器件驱动装置因为体积小,位移分辨率高,响应速度快,控制特性好,能耗低,无噪声等优点,正在被越来越多的应用于精密工程,微机电系统(MEMS),微小机器人等领域。随着激光烧结为代表的新...
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