压电元件、压电器件、探头、电子设备及超声波图像装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9238740

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本发明涉及压电元件以及包含该压电元件的压电器件,以及利用该压电器件的探 头、电子设备以及超声波图像装置等。背景技术 如专利文献1所公开那样样,普遍知晓薄膜型的超声波换能器元件。超声波换能 器元件具备振膜。在振膜上重叠有压电体膜。在压电体膜的表面上重叠有第1电极和第2 电极。压电体膜以均匀的膜厚形成。 现有技术文献 专利文献 专利文献1 日本特开2002 - 271897号公报发明内容 发明要解决的课题 若压电体容易产生变形,则变形量针对超声波增大,生成电...
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