压电材料、压电元件和电子设备的制造方法技术资料下载

技术编号:9239387

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通常,压电材料为ABO3钙钛矿型金属氧化物,例如锆酸钛酸铅(以下称为"PZT")。 但是,PZT含有铅作为A位点元素,并且其对环境的影响视为问题。因此,需要无铅钙钛矿 型金属氧化物的压电材料。 -种已知的无铅钙钛矿型金属氧化物的压电材料是钛酸钡。为了改善钛酸钡的特 性,正在开发基于钛酸钡的材料。 PTL 1公开了含有钛酸钡的压电材料,其中钛酸钡的A位点部分地被Ca置换。PTL 2公开了含有压电材料以及Mn、Fe或Cu的材料,其中钛酸钡的A位点部分地被Ca...
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