技术编号：9240159
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在半导体输送系统中，设置有暂时保管作为晶圆载体的FOUP的保管架。作为保管架，存在从桥式输送车的轨道、顶棚悬吊的构造，存在若桥式输送车行驶则振动传递到该保管架的情况。晶圆是精密部件，因此期待减少振动所带来的影响。作为抑制振动的机构，例如公知有专利文献I所记载的机构。在专利文献I所记载的机构中，在供货物载置的承载台设置有粘弹性体。专利文献1日本特开2012-15371号公报通常，为了获得使用防振部件(弹性体)来降低振动的效果，而需要将防振部件的弹性常数设定为...
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