技术编号:9246253
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。现有的靶材(包括金属和陶瓷)在需要掺杂其他元素物质(包括金属和陶瓷)时,只能在制造靶材时按一定比例混合掺杂物质进靶材中,然后固化成型造靶,这样制造的每块靶材的元素比例具有不可变特性。如果需要不同的混合比例,则需要制造各种混合比例的靶材,成本十分昂贵。发明内容本发明的目的是提出一种可变可调掺杂元素的溅射靶材及其制作过程,克服了现有技术的上述不足,其设计简单、合理,不仅具有掺杂比例和掺杂元素随时可变可调的功能,而且可以免去定做多个不同掺杂比例的靶材,节省大量成...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。