技术编号:9246296
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利说明本发明涉及一种制备DLC膜全自动化工业型气相沉积设备,属于气相沉积领域。背景技术DLC涂层是一种与金刚石涂层性能相似的新型涂层材料,它具有较高的硬度,良好的热传导率,极低的摩擦系数,优异的电绝缘性能,高的化学稳定性及红外透光性能,所以被广泛应用到机械、电子、光学和医学等各个领域,国内外有大量的文献报道了采用不同的沉积方法制备不同类型、结构、成分的DLC涂层。涂层沉积领域通常可分为化学气相沉积技术(CVD)、物理气相沉积技术(PVD)和物理化学气相沉...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。