薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板、显示装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9250134

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本发明涉及薄膜晶体管,特别涉及一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板、显示装置。背景技术薄膜晶体管(Thin Film Transistor,简称“TFT”)是液晶显示装置中的关键器件,对显示装置的工作性能起到十分重要的作用。现有的薄膜晶体管主要包括依次层叠在衬底上的栅电极、栅极绝缘层、有源层、欧姆接触层、源漏电极、钝化层、以及像素电极。在光照条件下,现有的薄膜晶体管会产生光生载流子,该光生载流子会在栅极绝缘层内缺陷态或者栅极绝缘层与有源层界面缺陷态中累积,...
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