技术编号：9252034
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。通常，以切削工具的耐磨损性的提高、机械部件的滑动面的滑动特性的提高为目的，对基材(成膜对象物)的表面进行利用PVD法、CVD法的硬质保护膜的成膜。作为用于这样的硬质保护膜的成膜的装置，存在电弧离子镀(arc 1n plating)装置、溅射装置等物理性蒸镀装置、等离子体CVD装置等化学性蒸镀装置。作为用于使用这样的物理性蒸镀装置和化学性蒸镀装置来对紧贴性高的硬质保护膜进行成膜的方法，已知有在进行成膜处理之前对基材的表面进行清洁的方法。作为该清洁的方法，已知...
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