技术编号:9255496
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及流体超光滑表面研磨抛光装置,更具体的说,涉及一种气液固三相磨粒流超光滑表面流体抛光装置。背景技术在现代光学、电子信息及薄膜科学等高新,需要在精密光学零件和功能晶体材料表面实现超光滑表面加工(Ultrasmooth Surface Manufacturing),例如软X射线光学系统、激光陀螺反射镜、高密度波分复用器、高能激光反射镜、功能光学器件、光学窗口等。精密光学零件和功能晶体材料零件均属于高端光学装备和电子制造装备的关键零部件,而超光滑表面加工...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。