技术编号:9257177
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种高纯四烷基氯化铵水溶液及其制备方法,特别是减少四烷基氯化 铵水溶液中有机物残留量的方法。背景技术 电子级四甲基氢氧化铵(TMAH)水溶液是四甲基氢氧化铵和水的混合溶液,浓度 主要有25%和2. 38%两种,主要用作液晶及印刷电路板的光刻显影剂、硅晶片蚀刻剂以及 微电子芯片制造中的清洗剂等,属于电子化工产品。随着半导体产业的发展,在作为半导体 处理剂使用时,对四甲基氢氧化铵(TMAH)水溶液的纯度要求越来越高,不仅要求金属离子 杂质含量低,对...
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