技术编号:9258337
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。硅薄膜材料分非晶硅和多晶硅两种,虽然非晶硅薄膜材料制造工艺相对简单,但是因其转换效率低,稳定性差,寿命短等缺陷使非晶硅薄膜材料的应用受到了很大的局限性。因此对非晶硅薄膜进行二次晶化制备寿命长且转换效率相对高的多晶硅薄膜被认为是薄膜太阳能电池未来发展的方向,具有重要意义。多晶硅薄膜作为一种人工功能材料,在太阳能电池薄膜型晶体管和传感器等方面具有重要应用前景。自1975年Spear等对非晶硅薄膜进行了可控掺杂后,非晶硅薄膜便很快在半导体器件中得到应用和发展,此...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。