磁记录膜用溅射靶及其制造方法技术资料下载

技术编号:9258341

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在以硬盘驱动器为代表的磁记录领域,作为承担记录的磁性薄膜的材料,使用以 作为强磁性金属的Co、Fe或Ni为基质的材料。例如,采用面内磁记录方式的硬盘的记录层 中使用以Co为主要成分的Co-Cr系或Co-Cr-Pt系的强磁性合金。 另外,在采用近年来实用化的垂直磁记录方式的硬盘的记录层中,通常使用包含 以Co为主要成分的Co-Cr-Pt系的强磁性合金与非磁性无机物的复合材料。 而且,硬盘等磁记录介质的磁性薄膜,从生产率高的观点考虑,通常使用以上述材 料为成...
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