技术编号：9258352
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种大面积化学气相沉积真空镀膜生产线，尤其涉及用于大面积类金刚石薄膜连续沉积，并能实现基片装载连续循环和不间断生产大面积类金刚石薄膜的连续镀膜生产线。背景技术类金刚石薄膜已经广泛的在国民的各个工业和生活领域应用，尤其在合金刀具、半导体、激光光学和表面视窗等领域。在应用中大部分都集中在对工业尤其是军事工业的应用，而很少涉及日常生活的民用产品领域。随着手机、电视、平板电脑和触摸屏等电子产品的大量应用，在这个消费电子产品的显示表面采用类金刚石薄膜进行强...
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