技术编号:9259984
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。面形重构技术主要是测量物体表面足够多的独立的点的高度,这些点组成线,SP可知道在这条线上的面形细节。足够多且能够覆盖整个物体表面的线即可重构物体表面。重构物体表面面形的技术需求在精密工艺领域非常重要。比如在半导体产业中,使用位置敏感器件(PSD)等精密仪器扫描得到硅片表面面形,可以进一步估算残余应力。在这些情况下,物体表面的高度差别很小。同时,为防止破坏物体表面,面形重构一般需要非接触、无损等技术手段。光学测量方式是非接触式无损测量物体表面高度的一个非常好...
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