技术编号：9260017
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明设及一种微机电巧螺仪，并且特别设及一种MEMS振动巧螺。背景技术 巧螺仪是测量载体相对惯性空间旋转运动的传感器，是运动测量、惯性导航、制导 控制等领域的核屯、器件，在航空航天、智能机器人、制导弹药等高端工业装备和精确打击武 器中具有非常重要的应用价值。传统的巧螺仪包括机械转子巧螺、静电巧螺、半球谐振巧 螺、激光巧螺、光纤巧螺、动力调谐巧螺等，它们虽然精度高，但体积、功耗、价格等方面难W 满足要求。基于微机电系统技术的MEMS巧螺仪具有体积小、功耗低...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。