技术编号：9260502
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微光机电系统(MicroOptical Electro Mechanical System，简称 MOEMS)是近几年发展起来的一支极具有活力的新技术系统，它是由微光学、微电子和微机械相结合而得到的一种新型的微光学结构系统。除了能够继承微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical System,简称 MEMS)成熟的制作工艺外，MOEMS 能把各种 MEMS结构与微光学器件、光学谐振腔、光波导、半导体激光器、光检测器件等完整地集成在一起...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。