一种多孔铁芯结构微型磁通门传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:9260620

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本发明涉及一种磁通门传感器,特别是采用微机电(MEMS)技术制备的微型磁通门传感器。背景技术磁通门是一种具有很好综合性能的磁场分量传感器。微型化磁通门具有体积小、重量轻、结构简单等特点,但存在着功耗高及由于体积小功耗高引起的散热困难等问题。参照图9,文献“A fully integrated ring-type fluxgate sensor based ona localized core saturat1n method.1EEE Transact1n...
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