技术编号:9260921
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 工业自动化制造过程中的工艺制程(Recipe),其内容包含物料加工过程中的多个 步骤、每个步骤中各种工艺参数的数值和步骤的结束条件等等。在半导体集成电路领域,由 于加工精细度越来越高,工艺过程也变得越来越复杂,一个Recipe中包含的信息也越来越 多,该些信息对于工艺人员来说从逻辑上不是单一的信息总和,而是有一定的类别、作用等 区分,能够更方便合理的维护和保存该些信息并按要求完成工艺执行,给工艺人员提供清 晰简洁的操作变得至关重要。 传统的Recipe中...
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