技术编号：9262137
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及大气压低温等离子体射流加工，具体地，涉及一种六自由度微等离子体射流加工平台系统。背景技术大气压低温等离子体射流是一种新型的等离子体放电技术，它具有运行温度低、可控性好、操作简单等特点。现阶段大气压低温等离子体射流正朝着微型化方向发展，即等离子体射流尺寸降到微米或纳米量级，主要应用于大气压下微电子器件及纳米器件的刻蚀加工。其中，对于生物医疗器件正不断向微型化和曲面复杂化方向发展，这对大气压微等离子体射流加工提出了更高的要求。然而，对于具有三维结构的...
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