一种超结结构的制备方法技术资料下载

技术编号:9262196

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功率半导体器件由于具有输入阻抗高、损耗低、开关速度快、无二次击穿、安全工作区宽等特性,已被广泛应用于消费电子、计算机及外设、网络通信,电子专用设备与仪器仪表、汽车电子、LED显示屏以及电子照明等多个方面。虽然功率半导体器件在功率处理能力上已经有了较大提高,但在高压领域,由于导通电阻的问题使得功率半导体器件的导通损耗随着耐压的提高而急速上升。为了提高耐压、降低导通损耗,一系列的新结构、新技术应运而生。而其中用来提高功率半导体性能的超结(Super Junct...
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