技术编号：9262240
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。现有消除晶圆传输误差的晶圆对准系统和方法针对有图案晶圆和无图案晶圆有所不同。对于有图案的晶圆，直接通过晶圆对准实现。具体过程如下(a)、在建立Recipe时，沿着某一个街道采集一个重复出现的高唯一性的特征图像，记录两个以上包含该特征图像的坐标位置，以后所有使用该Recipe的晶圆均以这些坐标位置为基准进行误差消除；(b)、Recipe运行时，机械手将晶圆放置到运动平台的载物吸盘上并稳定后，将运动平台移动到记录的第一个坐标位置后采集图像，随后使用存储的特征图...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。