技术编号:9262327
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 薄膜晶体管(ThinFilmTransistor,TFT)已被广泛应用于显示领域作为开关组 件使用。在金属氧化物半导体(MetalOxideSemiconductor)技术中可使用氧化错(A1203) 作为栅极绝缘层的材料,在现有技术中通常铝进行阳极氧化(Anodization)处理形成栅极 绝缘图案,但在周边区域需要将氧化铝蚀刻掉以形成过孔曝露出栅极线末端与其他部份连 接,但蚀刻的速率均较慢,从而影响显示阵列基板的制造效率。发明内容 有鉴于此,有必要提...
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