技术编号:9264486
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利说明 相关申请案的交叉引用 本申请案主张2012年12月19日所提出的美国第13/720, 133号专利申请案的优 先权,其完整内容引用合并于本文中。 在各种实施例中,本发明涉及化学气相沉积(CVD),且更特定言之,涉及用于稳定 供制造多晶硅的CVD反应器中的纤丝的方法及系统。背景技术 CVD为用于制造高纯度、高效能固体材料的化学工艺。该工艺通常用于半导体及光 伏打工业以制造高品质硅材料。在习知CVD工艺中,将纤丝或杆结构暴露于一或多种挥发 性前驱物,...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。