技术编号:9264487
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。SOI (silicon-on-1nsulator)基板是在绝缘性的基板材料上使娃膜生长而得到的基板。在该SOI基板上形成的半导体器件与在单晶硅基板上形成的器件相比,能够实现动作的高速化和电路的高集成化。根据这样的实际情况,作为SOI基板的高性能器件用基板的制品化在不断地发展。作为这样的SOI基板的代表性基板,已知在蓝宝石(氧化铝)单晶基板上使硅膜生长而得到的 SOS (silicon-on-sapphire)基板。SOS基板一般能够通过在蓝宝石基板的r面...
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