技术编号:9268042
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种纳米锗颗粒的制备方法,特别是电感耦合等离子体增强化学气相沉积系统中一步法合成表面钝化的纳米锗颗粒的方法。背景技术纳米锗颗粒具有无毒、环境友好、带隙在0.7?2eV可调、量子限制效应显著、高载流子迀移率、高吸收系数的优势,在半导体具有非常广阔的应用前景,尤其在太阳电池和光电探测器件中可作为有源层提升器件的性能。目前纳米锗颗粒的制备方法主要有溶液法、激光热解、溅射、离子注入等,这些制备方法均存在着各自的不足,如溶液法耗时、高温反应不稳定、有机副产...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。