一种波导结构的制作方法技术资料下载

技术编号:9274020

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在片上光互连中使用波分复用技术是光互连在能耗和传输容量方面真正能超越 电互连的关键所在。光源器件是实现波分复用片上互连亟待解决的核心瓶颈问题,可以采 用硅基微腔光频梳作为光源,产生多个间距固定、波长稳定的输出。微腔光频梳的产生需要 低反常色散、色散平坦的波导结构,而且热光效应引起的折射率的改变,会使腔谐振频率产 生漂移,影响光频梳的产生。传统的波导难以兼顾低色散与色散平坦的特点,特别是不能在 保证色散特性的前提下实现温度自补偿,因此,需要一种同时实现温度...
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