技术编号：9275621
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。有源区(AA)的关键尺寸(CD)是属于半导体器件中的重要参数。随着超大规模半导体集成电路制造工艺朝着精密方向的不断发展，不同晶片之间有源区关键尺寸的差异性(即不同晶片的有源区关键尺寸之间的偏差程度)越来越受到人们的重视。对于有源区关键尺寸要求较高的项目，不同晶片之间有源区关键尺寸存在的差异如果较大，就可能会对最终的良率造成不利影响。目前，本领域技术人员通过采用光刻和干法蚀刻的方法，已在很大程度上对缩小不同晶片之间有源区关键尺寸的差异进行了持续的改善，并促进...
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