技术编号:9275883
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微波通信、雷达领域及微机电系统(MEMS)中的元器件,具体的说,是涉及一种混合型MEMS毫米波太赫兹移相器。背景技术相控阵雷达与机械扫描雷达相比,其天线无需转动,波扫描更灵活,能跟踪更多的目标,抗干扰性能好,是一种重要的电扫方式。移相器作为相控阵雷达中相控阵天线的关键组件,其成本、性能直接影响着相控阵雷达系统的造价和性能。近年来,RF MEMS移相器由于具有尺寸小、低功耗、低损耗、高线性度以及批量制作成本低等特点,得到广泛的关注。开关线型移相器是...
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