技术编号:9276052
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。随着光刻产业对光源输出功率和线宽要求的不断提高,受限于结构特点,单腔结构准分子器件不能满足高水平输出功率和线宽同时输出的特性。双腔结构的主振荡-放大技术被引入以解决输出功率和线宽的矛盾。其基本思想是利用种子腔产生小能量的窄线宽种子光,注入放大腔输出大能量脉冲,从而得到窄线宽、大功率的优质激光输出。目前相关的放大机制主要包括MOPA、MOPO(Gigaphoton)、MOPRA (Cymer)、MORRA (Lambda Physik)等。Cymer公司的X...
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