感光性树脂组合物、使用其的硬化膜的制造方法、硬化膜、液晶显示装置及有机el显示装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9278136

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在有机EL显示装置、或液晶显示装置等中设置有形成有图案的层间绝缘膜。所述 层间绝缘膜的形成中,用于获得所需图案形状的步骤数少,而且获得充分的平坦性等,因此 广泛使用感光性树脂组合物。对于上述显示装置中的层间绝缘膜,除了绝缘性、耐溶剂性、耐热性、硬度、以及氧 化铟锡(indiumtinoxide,IT0)派镀适应性优异等硬化膜的物性以外,还期望高的透明 性。因此,尝试使用透明性优异的丙烯酸系树脂作为膜形成成分。例如已知专利文献1~ 专利文献3中记载的丙烯酸...
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