一种大行程三自由度微操作机器人的制作方法技术资料下载

技术编号:9281904

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精密微操作机器人在光电子工程、生命科学、半导体制造与检测、航空航天、精密加工等高科技领域中具有广阔的应用前景,为了获得微米甚至亚纳米级的定位分辨率,传统铰链已被无间隙、无摩擦、无需润滑、无冲击的柔性铰链所取代,并联机构具有结构紧凑、运动链短、刚度高和承载能力大等优点,因此是微操作机器人的优选构型。目前,国内的哈尔滨工业大学、北京航空航天大学、燕山大学、华南农业大学等高校,国外的韩国先进科技学院、国立首尔大学等高校,研制出了一系列三自由度柔性并联微操作机器人...
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