技术编号：9286942
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 近年来，随着电容式MEMS应用的不断推广，对MEMS接口电路也提出了新的要求。 但是现阶段的电容式MEMS的接口电路，大部分都是基于C的测量电路，只有在在静态时极 板间距远大于动态变化间距非线性才能得到一定的减少，否则非线性非常明显。同时，目前 普遍采用的斩波稳定法和双相关采样法对MEMS电容检测都有一定的局限性斩波稳定法， 电路的相对延迟会对测量造成很大影响，而且方波的带来的谐波会使各频段内的噪声在基 带信号内的堆叠；双相关采样法，有所改善但是还是存在...
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