技术编号：9286947
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。步进扫描投影式光刻机作为高精度的伺服控制系统，近40年来，随着光刻机新产品的更迭问世，使得光刻机的特征线宽接连攻克了 2000nm、1000nm、800nm、500nm、350nm、250nm、180nm、90nm、65nm、45nm的精度要求。面对如此高的精度要求，必须采用精度更高的传感器作为测量元件，这样才能保证控制精度的实现。激光干涉仪是以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量传感器，高精度的激光干涉仪可以达到纳米级的测量精度...
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