技术编号：9286968
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 超精密车削加工中，由于金刚石刀具、切肩与加工表面的摩擦，加工区域的塑性变 形、刀具的进给运动、以及切削系统的振动等因素，会引起已加工表面上残留一定周期和高 度的微观波峰和波谷，也称为表面微观相貌。 超精密车削加工表面的微观形貌对零部件的使用性能和可靠性有直接影响。为了 评价表面质量，就要对表面微观形貌进行精确测量。表面微观形貌的测量，对改进加工工 艺、控制加工过程和预防表面缺陷的产生，具有重要研究意义。 现有的表面微观形貌的测量方法主要包括接触式测量和非...
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