技术编号：9287044
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。静电力驱动是电容式传感器应用最广泛、最典型的驱动方式之一，静电力驱动主要是利用物体间的静电力使得传感器内部敏感结构(即电容极板)运动，产生电容变化并送入后级信号处理电路。电容式传感器内部敏感结构常以串联形式的差分电容形式出现，其中两电容串接端为可动电极，分立端均为固定电极。静电力驱动信号为固定相位差、幅度相等且具有一定直流偏压的双路交流信号，分别施加在差动电容的两个固定电极上，差分电容变化量由可动电极输出，其中驱动信号直流偏压是可动电极与固定电极间的直流电...
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