技术编号：9287139
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。压力传感器已成为工业生产、智能家居、环境保护等诸多领域必不可少的电子元器件之一，而在压力传感器中，压力传感器的芯片直接决定了压力传感器的工作性能。现有的压力传感器芯片通常通过测量压力对芯片中的电阻阻值的影响进而实现压力的检测，但现有的芯片结构难以满足极端环境下的工作需求，即其过压性能并不理想。发明内容本发明要解决的技术问题是提供一种单晶硅压力传感器芯片，其可显著改善传感器芯片的过压特性与静压特性。为解决上述技术问题，本发明涉及一种可改善工作性能的单晶硅压力...
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