技术编号：9287150
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 目前，高温、高压下的压力测量主要包括基于压阻效应、压电效应和LC谐振式等 测量方法。但上述测量方法在高温下的应用都存在着测试缺点，如基于半导体掺杂工艺形 成PN结电桥的压阻器件，在高温下的测量，PN结电子会发生泄露；基于压电效应的压电材 料只能在居里温度以内使用；而且这两种测量方式都需要在高温环境中直接引线，同时也 带来了寻找可靠高温焊料的难题，基于此类原理的压力传感器无法在高温下长时间工作， 因此在高温环境中应用大大受限。基于LC谐振式测量方法无需外接...
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