技术编号：92872
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于高转速机械真空泵，例如分子泵。一般使用的涡轮分子泵虽然具有良好的高真空和超高真空性能，但当泵的入口压强高于10-2乇时，抽速明显下降。通常，入口压强为1×10-1托时，泵的实际抽速仅为额定抽速的5%左右。因此，涡轮分子泵的排气流量较低，限制了这种泵的应用范围。采用高压强性能较好的园柱形螺线分子拖动泵或多级园盘形螺线分子拖动泵(下文简称为盘形分子泵)与涡轮分子泵串联工作的复合分子泵，在一定程度上提高了高压强下的抽速。然而，现有的这两类复合分子泵的工作间隙仅为0.1毫米左右，高速转子的惯性力，热膨胀，甚至外来...
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