纳米线传感器圆片级制备及封装方法技术资料下载

技术编号:9287424

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纳米线传感器主要指利用纳米线或经过修饰的纳米线(Si纳米线、CuO纳米线、碳纳米管)作为敏感元件进行特定气体分子或生物物质等检测的纳米传感器。纳米线传感器可以用于气体检测、生物分子检测等领域。纳米线传感器具有尺寸小、灵敏度高、响应快、能耗小等优点,在化学、生物、环境监测、军事等领域具有广泛的应用前景。介电泳技术(Dielectrophoresis,DEP)是一种通过施加不均勾电场产生介电泳力实现微纳米尺度物体自动装配的纳米材料制备方法,具有适用范围广等技术...
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