技术编号:9290741
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种搬运半导体晶圆等基板的工业用机器人。背景技术以往公知一种搬运半导体晶圆等基板的工业用机器人(例如,参照专利文献I)。专利文献I中所记载的工业用机器人例如设置于半导体制造系统中使用。该工业用机器人具有一个基板装载机构,所述基板装载机构装载多片基板;臂部,所述臂部将基板装载机构的基端侧支承为能够旋转;旋转机构部,所述旋转机构部将臂部的基端侧支承为能够旋转;以及本体部,所述本体部将旋转机构部支承为能够朝向上下方向移动。基板装载机构具有五个手叉,这五...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。