用于分析衬底的表面的方法和设备的制造方法技术资料下载

技术编号:9291476

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

对于测量透明衬底的平面度而言,存在三种主要的无接触技术。第一种技术在于通过干涉测量法来测量物体的平面度。通过利用从来自要被测量的表面和来自已知(基准)表面的入射波的反射发源的两波的干涉来执行测量。虽然极为可靠且精确,但该技术难以应用于在大衬底的工业场所处的线上(in-line)测量。具体地,采用很多光学元件的干涉仪方法对于外部扰动(振动、温度等)非常灵敏。第二种技术在于通过反射测量法来测量物体的平面度。然而,在大衬底的情况下,该技术要求使用大组件(投影仪、...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

详细技术文档下载地址↓↓

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
该分类下的技术专家--如需求助专家,请联系客服
  • 邢老师:1.机械设计及理论 2.生物医学材料及器械 3.声发射检测技术。
  • 王老师:1.数字信号处理 2.传感器技术及应用 3.机电一体化产品开发 4.机械工程测试技术 5.逆向工程技术研究
  • 王老师:1.机器人 2.嵌入式控制系统开发
  • 张老师:1.机械设计的应力分析、强度校核的计算机仿真 2.生物反应器研制 3.生物力学
  • 赵老师:检测与控制技术、机器人技术、机电一体化技术
  • 赵老师:1.智能控制理论及应用 2.机器人控制技术 3.新能源控制技术与应用
  • 张老师:激光与先进检测方法和智能化仪表、图像处理与计算机视觉