技术编号:9291476
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。对于测量透明衬底的平面度而言,存在三种主要的无接触技术。第一种技术在于通过干涉测量法来测量物体的平面度。通过利用从来自要被测量的表面和来自已知(基准)表面的入射波的反射发源的两波的干涉来执行测量。虽然极为可靠且精确,但该技术难以应用于在大衬底的工业场所处的线上(in-line)测量。具体地,采用很多光学元件的干涉仪方法对于外部扰动(振动、温度等)非常灵敏。第二种技术在于通过反射测量法来测量物体的平面度。然而,在大衬底的情况下,该技术要求使用大组件(投影仪、...
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