技术编号：9298539
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及MEMS结构体、电子设备以及移动体。背景技术使用MEMS(Micro Electro Mechanical System微机电系统)技术制造的 MEMS结构体(MEMS器件)被应用于具有可动部的各种结构体(例如振子、滤波器、传感器、马达等)O例如，专利文献I中记载的MEMS器件具有基板以及可动结构体，可动结构体具有与基板隔开间隔配置于基板的可动部、固定于基板的固定部以及连结可动部与固定部的支承梁。该MEMS器件能够基于基板与可动部之间的静电电容变...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。