技术编号：9308473
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。机电系统（EMS)包含具有电及机械元件、致动器、换能器、传感器、光学组件（例如 镜子及光学膜）及电子器件的装置。可依各种尺度（其包含（但不限于）微尺度及纳米尺 度）制造EMS装置或元件。例如，微机电系统（MEMS)装置可包含具有从约1微米到数百微 米或数百微米以上的范围中的大小的结构。纳机电系统（NEMS)装置可包含具有小于1微 米的大小（包含（例如）小于数百纳米的大小）的结构。可使用沉积、蚀刻、微影或其它微 机械加工过程（其蚀除衬底及/或沉积材料层的部分...
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