技术编号：9308740
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 快速热处理（RTP)是用于制造半导体集成电路的开发完备的技术。RTP是一种工 艺，在所述工艺中，在RTP腔室中利用高强度光学辐射照射基板，以将基板快速加热至相对 较高的温度，以热活化基板中的工艺。一旦基板已被热处理，便移除辐射能并使基板冷却。 RTP是具有能效的工艺，因为执行RTP的腔室并未被加热至处理基板所需的高温。在RTP工 艺中，仅加热基板。由此，经处理的基板与周围环境（亦即腔室）并非处于热平衡。 集成电路的制造涉及沉积层、用光刻图案化层和蚀刻图案...
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